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Dense Array是Semitronix自主创新的超高密度测试芯片设计与芯片快速测试技术,并已经在世界领先的集成电路企业客户中得到了成功流片验证。该技术单个测试芯片上可容纳上百万个DUTs,每秒可测试数万个DUTs,能够为先进半导体工艺提供工艺研发和良率提升提供整套的测试芯片解决方案。

应用场景
特别适用于先进半导体技术(如HKMG和FinFET元件)的研发和生产。

具体技术规格如下:

• 测试芯片中待测器件(DUT)数量超百万,并能够对百万级DUT进行快速测试
• DUT平均密度为10~25um2,10mm2的测试芯片中可容纳106级的DUT数量
• 支持标准单元库、SRAM、PCell类型的DUT
• 百万个DUT单点测试仅需30s,测试速度最快可达40000 DUT/s
• 测试精度可达到10nA
• 测试项包含Idsat、Vtsat、I-V curve数据
• 支持连续测试与选择测试两种测试模式
• 仅需两层金属即可测试
• 能够发现所有open/short 缺陷以及Idsat、Vtsat、Ioff异常点


Dense Array Test Chip Layout

Test Data (dark spots are outliers)

I-V Curve Comparison