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在集成电路制造过程中,通过对测试结构的电学参数测试提取工艺和器件性能的信息,并用于指导芯片产品的过程研发和生产控制。因此,对各种器件的电学参数测试是集成电路制造过程中的关键瓶颈,对技术研发来说也是一个制约学习周期的关键步骤。

Semitronix围绕快速电学参数测试设备研发出了先进的电学参数测试解决方案。快速电学参数测试机(Semitronix Tester)通过系统架构与软件设计相结合能够为用户提供持续准确和高速的测试解决方案,用于快速工艺监控。快速电学参数测试机与Semitronix的可寻址测试芯片解决方案结合使用时,能够显著地减少先进集成电路设计和晶圆制造过程中电学测量的测试时间;特别是与Dense Array技术相结合的应用中,经过优化设计的整体测试系统的测试速度可以达到40000 DUT/s。

Semitronix测试机包括标准型号测试机(T4000)和并行测试器(T4100)两种型号以满足客户对精度和速度的要求。

• 能够用于半导体晶圆制造的先进工艺中

• 极大地减少测试时间

• 与Semitronix的可寻址测试芯片解决方案结合使用,速度更快

• pA级及以下的精确度