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在集成电路制造过程中,通过电学参数测试提取工艺和器件性能的信息用于指导芯片产品的过程研发和生产控制。因此,对各种器件的电学参数测试是集成电路制造过程中的关键瓶颈,对技术研发来说也是一个制约学习周期的关键步骤。

WAT/SPICE测量在集成电路芯片设计和制造工艺中起着关键作用,从测试数据中能够反映出芯片从研发设计到批量生产的各种问题。

针对各种器件/结构的电学参数测试,Semitronix采用快速电学参数测试机(Semitronix Tester)提供先进的电学测量解决方案。 Semitronix Tester有能力为用户提供持续准确和高速的测试解决方案,用于快速工艺监控。特别是与Semitronix的可寻址测试芯片解决方案结合使用时,能够使显著地减少先进集成电路设计和晶圆制造过程中电学测量的测试时间。

Semitronix测试机包括标准型号测试机(T4000)和并行测试器(T4100)两种型号以满足客户对精度和速度的要求。